Technical Data

Model: SELOP15F25-S8-Serie

• Funktionalität:
  • Anwendbar für 300-mm-FOUPs mit 13 und 25 Slots.
  • FOUP-Sensoren: Präsenz, Platzierung, Tür.
  • Statusfunktionen.
  • Wafer-Sensoren: Mapping, Vorsprung.
  • Sicherheitssensoren: Hand, Hals.
• Bewegungsmechanismus:
  • Tür (Luftzylinder): Andocken/Abdocken, Klemmen/Entklemmen, Riegel.
  • Wafer-Mapping (Schrittmotor): Bewegung in Verbindung mit der Tür.
• Türhalterung:
  • Vakuumabsorptionsmethode.
• Standardfunktionen:
  • Selbststehende Rollen.
  • Typ T & B-Protokoll.
• Abmessungen & Gewicht:
  • Breite: 550 mm; Tiefe: 586 mm; Höhe: 1383 mm (nur Adapter).
  • Gewicht: 87 kg.
• Kommunikation & Leistung:
  • RS232/Ethernet.
  • Luft: 0,45-0,6 MPa.
  • Vakuum: One-Touch-Verbindung: weniger als -60 kPa, 5 l/min.
  • Stromversorgung: DC24V + 10%; Volllaststrom 5A.
• Geschwindigkeit:
  • 13+1 Sekunden Tür öffnen (mit Mapping).
  • 10+1 Sekunden Tür schließen (ohne Mapping).
• Optionen:
  • Indikatorfeldschalter und Schaltpanel, CID, E84, infoPad.
  • Anwendbare OC (Kassetten-Spezifikation erforderlich).